فناوری MEMS چیست؟
MEMS ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حس کننده ها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع[1] ساخته می‌شوند، عناصر میکرو ماشین ها از طریق فرآیندهای ماشین کاری میکرونی[2] تولید می‌شوند. فناوری MEMS امکان تلفیق میکروالکترونیک را با درک فعال و اعمال کنترلی فراهم کرده و در نتیجه فضای طراحی و کاربرد را بسط میدهد.
مدارهای پیوسته میکرو الکترونیکی می‌توانند بعنوان مغز متفکر سیستمها باشند و MEMS با اضافه کردن "چشم" و "بازو" ، این قدرت تفکر را توسعه میدهد تا این میکرو سیستم ها بتوانند محیط اطرافشان را حس کرده و کنترل نمایند. این حسگر ها در ساده ترین حالت خود با کمک اندازه گیری پدیده های مکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمع آوری می‌کنند. پس از اخذ اطلاعات از حس کننده ها, دستگاههای الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیم گیری خود، محرک ها را به پاسخ‌‌هایی چون : حرکت، جابجایی، تنظیم کردن، پمپ کردن و فیلتر کردن وادار کرده و محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت می‌کنند. از آنجا که دستگاههای MEMS همانند IC ها با تکنیکهای ساخت ناپیوسته ساخته می‌شوند، می توان سطح بسیار بالایی از کارکرد، اطمینان و پیچیدگی را با هزینه اندک بر روی تراشه کوچک سیلیکونی شکل داد.
MEMS فاصله بین سیستم های مکانیکی پیچیده و مدارهای مجتمع الکترونیکی را پر می‌کند. حس کننده ها و محرک ها عموما گران قیمت اند، به علاوه سیستم های الکترونیکی، محرک ها و حس کننده ها در ابعاد بزرگ قابل اعتماد نیستند. فناوری MEMS امکان ساخت سیستمهای میکرو الکترومکانیکی را با استفاده از تکنیکهای ساخت ناپیوسته فراهم کرده که موجب برابری قیمت و اعتبار حس کننده ها و محرک ها با مدارهای مجتمع می شود. به عنوان یک نمونه جدید از فواید فناوری MEMS می توان به شتاب سنج های MEMS اشاره کرد، که به سرعت جایگزین شتاب سنج های قدیمی می‌شود.
