فناوری MEMS چیست؟

MEMS ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حس ‌کننده‌‌ ها، محرک ها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه ‌های میکرونی است. در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع[1] ساخته می‌شوند، عناصر میکرو ماشین ها از طریق فرآیندهای ماشین کاری میکرونی[2] تولید می‌شوند. فناوری MEMS امکان تلفیق میکروالکترونیک را با درک فعال و اعمال کنترلی فراهم کرده و در نتیجه فضای طراحی و کاربرد را بسط می‌دهد.